愛德華半導體真空泵維修EPX180L

愛德華半導體真空泵維修EPX180L

新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用

了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

IPX 系列，可提供的性能，與 EPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

應用:

EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

功能和優勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一，EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級

管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可化功率效率。

的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油

脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。

非?？煽縀PX 基于經過現場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，程度地延長了

泵的使用壽命。

可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到各種結構的網絡，以進行診斷監視和控制。 

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